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设备特点：
与IGV自动对接，具备安全防呆功能、先进先出。⼀体式设计，带防尘FFU，结构简单稳定，维护方便，齿轮齿条升降，三层四条导轨，立体缓存，占用空间小，承载能力大，兼容性强。
技术参数：
| 序号 | 参数项目 | 参数指标 |
|---|---|---|
| 1 | 机体型号 | 60缓存机 |
| 2 | 尺寸 | 3398*2000*2985 mm |
| 3 | 缓存量 | 6000PSC |
| 4 | UP-time | ≥99.9% |
| 5 | 传输轨道速度 | 0m/min-20m/min |
| 6 | 适用硅片规格 | 182兼容230 |
| 7 | 适用硅片盒规格 | 270*290*700 mm |
| 8 | 过滤气压 | 稳压， 0.4-0.6MPa |
| 9 | 总功率 | 4.5KW、5.5KW、6KW |
| 10 | 气源气压 | 0.45-0.7MPa |
| 11 | 电源电压 | AC220V±10% 50HZ |
