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设备特点：
带升降功能，与IGV⾃动对接。双层设计，效率⾼，智能存储，实现料盒内部循环。具有占⽤空间⼩、承载能⼒⼤、兼容性强、分段模块化设计、组装⽅便等特点。
技术参数：
| 序号 | 参数项目 | 参数指标 |
|---|---|---|
| 1 | 机体型号 | 发料机 |
| 2 | 设备产能 | 72000PSC/H |
| 3 | UP-time | ≥99.9% |
| 4 | 传输轨道速度 | 0m/min-20m/min |
| 5 | 适用硅片规格 | 182兼容230 |
| 6 | 适用硅片盒规格 | 758*242*150 mm |
| 7 | 过滤气压 | 稳压， 0.4-0.6MPa |
| 8 | 总功率 | 1.5KW |
| 9 | 气源气压 | 0.45-0.7MPa |
| 10 | 电源电压 | AC220V±10% 50HZ |
