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设备特点:
带升降功能,与IGV自动对接。双层设计,效率高,智能存储,实现料盒内部循环。具有占用空间小、承载能力大、兼容性强、分段模块化设计、组装方便等特点。
技术参数:
序号 | 参数项目 | 参数指标 |
---|---|---|
1 | 机体型号 | 发料机 |
2 | 设备产能 | 72000PSC/H |
3 | UP-time | ≥99.9% |
4 | 传输轨道速度 | 0m/min-20m/min |
5 | 适用硅片规格 | 182兼容230 |
6 | 适用硅片盒规格 | 758*242*150 mm |
7 | 过滤气压 | 稳压, 0.4-0.6MPa |
8 | 总功率 | 1.5KW |
9 | 气源气压 | 0.45-0.7MPa |
10 | 电源电压 | AC220V±10% 50HZ |