详细内容
设备特点:
与IGV⾃动对接,具备安全防呆功能、先进先出。⼀体式设计,带防尘FFU,结构简单稳定,维护方便,齿轮齿条升降,三层四条导轨,立体缓存,占用空间小,承载能力大,兼容性强。
技术参数:
序号 | 参数项目 | 参数指标 |
---|---|---|
1 | 机体型号 | 120缓存机 |
2 | 尺寸 | 5078*2000*2985 mm |
3 | 缓存量 | 12000PSC |
4 | UP-time | ≥99.9% |
5 | 传输轨道速度 | 0m/min-20m/min |
6 | 适用硅片规格 | 182兼容230 |
7 | 适用硅片盒规格 | 270*290*700 mm |
8 | 过滤气压 | 稳压, 0.4-0.6MPa |
9 | 总功率 | 4.5KW、5.5KW、6KW |
10 | 气源气压 | 0.45-0.7MPa |
11 | 电源电压 | AC220V±10% 50HZ |